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多晶硅原料三氯氫硅合成方法獲專利

2010年08月17日 10:26 6185次瀏覽 來源:   分類: 新技術

  8月17日消息 日前,廣州吉必盛科技實業有限公司合成多晶硅原料三氯氫硅的方法獲得國家發明專利授權。
  該方法可將三氯氫硅收率從82%提高至88%以上。截至目前,吉必盛公司共獲得授權專利15項,其中發明專利11項,實用新型專利4項。

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