6英寸區熔硅單晶爐實現國產化
2012年09月25日 10:32 7352次瀏覽 來源： 中國化工報 分類： 有色裝備
近日，北京京運通科技股份有限公司成功開發出6英寸區熔單晶爐設備。采用該國產設備已連續成功拉制出6英寸區熔單晶。
中國電子專用設備工業協會對京運通公司開發的區熔單晶硅爐設備進行了技術鑒定。專家認為，該設備打破了國外對5~6英寸區熔單晶生產設備的壟斷，為推進大尺寸區熔單晶設備產業化奠定了堅實基礎。據介紹，區熔硅單晶純度高于直拉硅單晶，是電力電子器件的關鍵材料。
責任編輯：安子
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